GPC Gov : Marché public - CL Cathodoluminescence (CL) Tool

CL Cathodoluminescence (CL) Tool

Imec EU Pilot line NV

Date de publication: 15/08/2025

Section I: Pouvoir adjudicateur

Nom officiel: Imec EU Pilot line NV
Numéro national d'identification:
Adresse: Kapeldreef 75, 3001 Heverlee, Belgium

Personne de contact: *********
Téléphone: *********
Email:*********

Section II: Objet

Numéro de référence: 3982d962-776b-4fe1-94bc-80898a7c2111

N° BDA: F02

II.1.1) Intitulé: CL Cathodoluminescence (CL) Tool
II.1.4) Description succincte: Cathodoluminescence (CL) tool: Clean-room compatible with EFEM (Equipment Front End Module) for automatic loading of 200 and 300 mm substrates Fast acquisition of CL and scanning electron microscopy (SEM) images on blanket and patterned wafers 800 – 1700 nm wavelength detection range Panchromatic detector for fast defect mapping Spectrum acquisition (≥250 nm range with one scan

Lot 1 : JPA2025ID81 - 1

Cathodoluminescence (CL) tool: Clean-room compatible with EFEM (Equipment Front End Module) for automatic loading of 200 and 300 mm substrates Fast acquisition of CL and scanning electron microscopy (SEM) images on blanket and patterned wafers 800 – 1700 nm wavelength detection range Panchromatic detector for fast defect mapping Spectrum acquisition (≥250 nm range with one scan

Start : UNKNOWN

NUTS

BE242 BEL

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